金融界2025年5月1日消息，国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“半导体工艺设备”的专利，公开号CN119890095A，申请日期为2025年1月。
专利摘要显示，本申请公开一种半导体工艺设备，属于半导体加工技术领域。所公开的半导体工艺设备包括炉管和炉门，所述炉管的端部设有开口，所述炉门包括内炉门和外炉门，所述内炉门和所述外炉门之间形成第一空腔；在进行工艺时，所述内炉门封堵所述开口，且所述第一空腔与所述炉管相连通，所述第一空腔内填充有惰性气体，其中，所述惰性气体的气压大于所述炉管内的工艺气体的气压，使部分所述惰性气体经所述内炉门进入所述炉管内，以在所述端部形成隔离区域。上述方案能够解决相关技术涉及的半导体工艺设备的使用寿命较短的问题。
天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目1027次，财产线索方面有商标信息61条，专利信息5000条，此外企业还拥有行政许可340个。
本文源自：金融界